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多功能X射线光电子能谱 (Multifunctional X-ray Photoelectron Spectroscope)
日期:2011-07-08
多功能X射线光电子能谱 (Multifunctional X-ray Photoelectron Spectroscope)

 

厂 商 日本岛津公司
型 号 AXIS UTLTRADLD
到货日期 2008年6 月

技术指标
 X射线源: 15kV, 30mA(450W) 清洁的Ag 3d5/2光电子峰,强度单位: cps

    XPS成像空间分辨率<3μm
 紫外光电子能谱(UPS) 以表面清洁Ag4d在140 emV 分辨率下,灵敏度1,000,000 cps ,He I和 He II比例小于4:1
 离子散射能谱(ISS)以表面清洁Au在FWHW<12eV下,灵敏度12,000cps/nA
 低能量悬浮离子枪能量范围:50eV~5000eV,Ar离子枪在Ta2O5刻蚀速率40nm/min@4keV,2.2nm/min@500eV
 扫描电子显微镜(SEM)场发射电子枪10kV,样品电流5nA下,分辨率<100nm
 俄歇电子能谱测量Cu LMM峰在10nA束流,10kV束能,相对能量分辨率0.4%±0.05%下,灵敏度>50,000cps/nA,信噪比500:1
 测试温度范围:-150℃~600℃
 X射线能谱仪的元素分析范围:除H、He两种元素外的100多种元素(含量在0.1%以上)

主要用途
   用于定性及半定量分析材料表面元素,分析材料表面价态、逸出功,观察材料表面元素分布形貌,在金属、合金、半导体、无机物、有机物、各种薄膜等许多固体材料的研究中都有很多成功应用的实例,主要用途如下:
 固体样品的元素成分进行定性、定量或半定量及价态分析,样品表面的微区选点分析,元素成分的深度分析(角分辨方式和氩离子刻蚀方式);
 固体样品表面的组成、化学状态分析,广泛应用于元素分析、多相研究、化合物结构鉴定、富集法微量元素分析、元素价态鉴定;
 对氧化、腐蚀、摩擦、润滑、燃烧、粘接、催化、包袱等微观机理研究;
 分子生物化学以及三维剖析如界面及过渡层的研究等方面有所应用;
 反映出分子的外壳层分子轨道的特性,测试逸出功等。