型号：Alpha-Step IQ
厂商：KLA-Tencor Corporation，USA

负责人：孙丽丽
电    话：0574-86685165

主要参数：
► 扫描长度：≤10mm；sputtering, DC sputtering.
► 垂直测量范围（最大台阶高度）：≤1.9mm；
► 扫描速度：2 ~ 200μm/s；
► 最大样品厚度：21mm；
► 最大样品重量：1kg。

用途：
Alpha-Step IQ 轮廓仪是一种计算机化的、高灵敏度的表面轮廓仪，可测量样品粗糙度、波纹度和厚度。